Charge-Trapping-Speicherbauelement

Ein oxidierter Bereich (10) ist zwischen einem Substrat (1) aus Halbleitermaterial und einem Nitridliner (11) angeordnet, der Wortleitungsstacks (4) eines Speicherzellenarrays sowie dazwischen vorhandene Bereiche des Substrates bedeckt. Der oxidierte Bereich ist dafür vorgesehen, den Nitridliner sow...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	MIKALO, RICARDO PABLO, SCHLEY, JAN-MALTE, KLEINT, CHRISTOPH ANDREAS, SCHROER, ERWIN, ISLER, MARK, SACHSE, JENS-UWE, WEIN, GUENTHER
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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