Reducable or oxidizable gas or vapor concentration determining method, involves using electrical charge present in sensor as measure for concentration of gas or vapor and evaluating charge by evaluation circuit

The method involves using an electrical charge present in a sensor (10.6) as a measure for concentration of a oxidizable or reducable gas or vapor present in surrounding atmosphere of the sensor, where the charge is varied in gas or vapor dependent manner. The charge is evaluated by an evaluation ci...

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Hauptverfasser: GERHART, JESSICA, SUPPLY, CARSTEN, PATZER, REINHARD, RUMP, HANNS
Format: Patent
Sprache:eng ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:The method involves using an electrical charge present in a sensor (10.6) as a measure for concentration of a oxidizable or reducable gas or vapor present in surrounding atmosphere of the sensor, where the charge is varied in gas or vapor dependent manner. The charge is evaluated by an evaluation circuit. The sensor is charged by a voltage supply so that the charge is developed in an operating layer of the sensor. An independent claim is also included for a device for measuring gas or vapor concentration. Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung der in der einen Metalloxid-Halbleiter-Gassensor, z. B. einen Zinndioxid-Gassensor, umgebenden Atmosphäre enthaltenen Anteile oxidierbarer oder reduzierbarer Gase oder Dämpfe. Beheizte Metalloxid-Gassensoren werden verbreitet zur Detektion oxidierbarer und reduzierbarer Gase und Dämpfe eingesetzt, wobei üblicherweise der gasabhängige Widerstand der Wirkschicht messtechnisch ausgewertet wird. Die Erfindung beschreibt die Auswertung der als Funktion des Gasangebotes variablen elektrischen Ladung in der Sensor-Wirkschicht. Es werden dazu vorteilhafte technische Verfahren angegeben. Das erfindungsgemäße Verfahren und die Vorrichtung zur Signalgewinnung bei halbleitenden oxidischen Gassensoren ersetzt in vorteilhafter Weise die Auswertung des elektrischen Widerstandes der Wirkschicht.