Method for producing a micro fluid duct structure using polymer ceramic with a reactive filler which expands to compensate volume loss in the ceramic during sintering

A method for producing a micro fluid structure has a polymer ceramic with a reactive filler pressed in a mould in which a duct module and other inserts are included. The subsequent sinter process causes the reactive filler to expand to compensate for volume loss in the polymer ceramic. At the same time the duct insert is destroyed leaving the formed duct (18) as well as a thin membrane section (24) onto which a pressure sensor can be fitted. Die Erfindung betrifft ein Mikrofluidikmodul (12) mit einer Gehäusestruktur (22) bzw. ein Verfahren zu dessen Herstellung. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Gehäusestruktur (22) aus einer Polymerkeramik (23) gebildet ist, wobei ein reaktiver Füllstoff in die Polymerkeramik (23) eingelagert ist. Die Anteile des Füllstoffes und der Polymerkeramik sind so bemessen, dass die fertigungsbedingte Schwindung der Polymerkeramik durch eine Volumenzunahme des reaktiven Füllstoffes während der Sinterbehandlung ausgeglichen wird. Damit lässt sich vorteilhaft die Gehäusestruktur mit einer erhöhten Maßhaltigkeit fertigen, was bei mikrofluidischen Anwendungen mit sehr hohen Toleranzanforderungen die Fertigung der Gehäusestruktur (22) aus einer Keramik überhaupt erst ermöglicht. Daher kann dieser gegenüber chemischen Reagenzien sehr beständige Werkstoff vorteilhafterweise für die Fertigung mikrofluidischer Gehäusestrukturen zugänglich gemacht werden. Gleichzeitig ist vorteilhaft eine einfache Anbindung von beispielsweise Schläuchen (31) mit im Vergleich zur mikrofluidischen Kanalstruktur (18) großen Querschnitten möglich.