Verfahren zum Herstellen eines Isolationsgrabens in einer Halbleiterstruktur

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	SCHMITT, FLORIAN, SPERLICH, HANS-PETER, RADECKER, JOERG
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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