Production of a semiconductor wafer comprises not turning the wafer during inspection of the front and rear sides

Production of a semiconductor wafer comprises not turning the wafer during inspection of the front and rear sides

Production of a semiconductor wafer comprises not turning the wafer during inspection of the front and rear sides. Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterscheibe, umfassend mehrere Prozessschritte, wobei nach Beendigung eines Prozessschrittes Vorder- und Rückseite der Halbleiterscheibe mittels ei...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: MUELLER, ALOIS, PASSEK, FRIEDRICH
Format: Patent
Sprache:eng ; ger
Schlagworte:
AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUSPOLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE
APPARATUS THEREFOR
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
CHEMISTRY
CRYSTAL GROWTH
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
MEASURING
METALLURGY
PHYSICS
PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITHDEFINED STRUCTURE
REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL
SEMICONDUCTOR DEVICES
SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITHDEFINED STRUCTURE
SINGLE-CRYSTAL-GROWTH
TESTING
UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL ORUNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL
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Beschreibung
Zusammenfassung:Production of a semiconductor wafer comprises not turning the wafer during inspection of the front and rear sides. Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterscheibe, umfassend mehrere Prozessschritte, wobei nach Beendigung eines Prozessschrittes Vorder- und Rückseite der Halbleiterscheibe mittels einer oder mehrerer Inspektionseinheiten inspiziert werden, dadurch gekennzeichnet, dass die Halbleiterscheibe während der Inspektion ihrer Vorder- und Rückseite nicht gewendet wird. Bei Abweichungen zwischen den Ergebnissen der Inspektion und Sollkriterien erfolgt über eine Prozesssteuerung eine Optimierung des vorangegangenen Prozessschrittes.