Leckprüfverfahren und Leckprüfvorrichtung

Die Leckprüfvorrichtung weist eine gegenüber der Umgebung hermetisch abgeschlossene Kammer (10) auf, in der das mit einem Prüfgas (14) gefüllte Prüfobjekt (12) positioniert wird. In der Kammer (10) ist ein Partialdrucksensor (15) angeordnet, der selektiv auf das Prüfgas (14), nicht aber auf das Füll...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: WETZIG, DANIEL, GROSE BLEY, WERNER
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Die Leckprüfvorrichtung weist eine gegenüber der Umgebung hermetisch abgeschlossene Kammer (10) auf, in der das mit einem Prüfgas (14) gefüllte Prüfobjekt (12) positioniert wird. In der Kammer (10) ist ein Partialdrucksensor (15) angeordnet, der selektiv auf das Prüfgas (14), nicht aber auf das Füllgas (11), anspricht. Damit ist eine Leckprüfung ohne Hochvakuum und ohne Massenspektrometer mit einfachen Mitteln möglich.