Leckprüfverfahren und Leckprüfvorrichtung
Die Leckprüfvorrichtung weist eine gegenüber der Umgebung hermetisch abgeschlossene Kammer (10) auf, in der das mit einem Prüfgas (14) gefüllte Prüfobjekt (12) positioniert wird. In der Kammer (10) ist ein Partialdrucksensor (15) angeordnet, der selektiv auf das Prüfgas (14), nicht aber auf das Füll...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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Zusammenfassung: | Die Leckprüfvorrichtung weist eine gegenüber der Umgebung hermetisch abgeschlossene Kammer (10) auf, in der das mit einem Prüfgas (14) gefüllte Prüfobjekt (12) positioniert wird. In der Kammer (10) ist ein Partialdrucksensor (15) angeordnet, der selektiv auf das Prüfgas (14), nicht aber auf das Füllgas (11), anspricht. Damit ist eine Leckprüfung ohne Hochvakuum und ohne Massenspektrometer mit einfachen Mitteln möglich. |
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