Micromechanical sensor, has fixed and movable micromechanical parts with surfaces that are arranged together, and evaluating processor unit for finding actuating force of actuator, where surfaces are removed from each other by actuator

The sensor has a fixed micromechanical part with a surface (15) and a movable micromechanical part with a surface (25), where the surfaces are arranged together. The movable part has a measuring unit (40) for measuring the movement of the movable part. The surfaces are removed from each other by an...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	PATAK, CHRISTIAN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; ger
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PHYSICS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS TESTING TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	The sensor has a fixed micromechanical part with a surface (15) and a movable micromechanical part with a surface (25), where the surfaces are arranged together. The movable part has a measuring unit (40) for measuring the movement of the movable part. The surfaces are removed from each other by an actuator with the actuating force. An evaluating processor unit is provided for determining the actuating force. Die Erfindung geht aus von einem mikromechanischen Sensor mit einem ersten Teil (10), welcher eine erste Oberfläche (15) aufweist, und einem zweiten Teil (20), welcher eine zweite Oberfläche (25) aufweist. Wenigstens einer der Teile (20) ist dabei beweglich ausgestaltet und mit einem Antrieb (30) sowie einem Messmittel (40) zur Messung einer Bewegung (50) versehen. Die erste und die zweite Oberfläche (15, 25) können aneinander angeordnet sein. Der Kern der Erfindung besteht darin, dass die erste und zweite Oberfläche (15, 25) mittels des Antriebs (30) mit einer Antriebskraft voneinander entfernbar sind und Mittel zur Bestimmung dieser Antriebskraft vorgesehen sind.