Pressure sensor for use in aggressive media has flexible membrane mounted between two compression chambers, deformation of membrane being measured by transducers mounted on it which are enclosed in protective layer

Pressure sensor has a flexible membrane (2) mounted between two compression chambers (12, 13). The deformation of the membrane is measured by transducers (5) mounted on it. These are enclosed in a protective layer (7). Der Drucksensor weist eine Trägermembran (2) auf, auf der Messwandler (5) angeordnet sind. Eine Schutzschicht (7) schützt die Messwandler (5) vor chemisch aggressiven Medien. Die Schutzschicht (7) kann wie die Trägermembran (2) aus einem keramischen Material hergestellt sein oder auf der Grundlage eines Gels gebildet werden. Die Beschaffenheit der Schutzschicht (7) ist so gewählt, dass die mechanischen Eigenschaften des Drucksensors (1) überwiegend von der Druckfestigkeit der Trägermembran (2) bestimmt werden.