Oberflächenemittierende Einmodenvertikalresonatorlaser und Verfahren zum Herstellen derselben

In einem Aspekt ist ein oberflächenemittierender Vertikalresonatorlaser (VCSEL = vertical cavity surface emitting laser) betreibbar, um Einmodenlaserlicht bei einer Betriebswellenlänge zu erzeugen. Der VCSEL umfasst eine lichtemittierende Oberfläche und eine monolithische longitudinale Stapelstruktur. Die longitudinale Stapelstruktur umfasst einen ersten Spiegel, einen zweiten Spiegel und eine Resonatorregion. Die Resonatorregion ist zwischen dem ersten Spiegel und dem zweiten Spiegel angeordnet und umfasst eine aktive Lichterzeugungsregion und eine Resonatorerweiterungsregion. Die longitudinale Stapelstruktur umfasst ferner eine ionenimplantierte Stromeingrenzungsregion. Ein VCSEL-Array, das den oben beschriebenen VCSEL aufweist, und ein Verfahren zum Herstellen des oben beschriebenen VCSEL sind ebenfalls beschrieben. In one aspect, a vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) is operable to generate single-mode laser light at an operative wavelength. The VCSEL includes a light-emitting surface and a monolithic longitudinal stack structure. The longitudinal stack structure includes a first mirror, a second mirror, and a cavity region. The cavity region is disposed between the first mirror and the second mirror and includes an active light generation region and a cavity extension region. The longitudinal stack structure further includes an ion-implanted current confinement region. A VCSEL array incorporating the above described VCSEL and a method of making the above-described VCSEL also are described.