Vorrichtung zum Testen von Substraten

Vorrichtung zum Testen von Substraten mit einer Testanordnung, zumindest bestehend aus einem Chuck, einem Chuckantrieb, Steuerelektronik, Sonden- oder Sondenkartenaufnahmemittel, mit einem Handlingsystem, einer Substratmagazinstation und einer Ausrichtstation, wobei mindestens zwei Testanordnungen (...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Place, Denis, Werner, Frank-Michael, Feuerstein, Don, Lancaster, Mike, Dietrich, Claus, Dr.-Ing, Schneidewind, Stefan, Dr
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY MEASURING MEASURING ELECTRIC VARIABLES MEASURING MAGNETIC VARIABLES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Vorrichtung zum Testen von Substraten mit einer Testanordnung, zumindest bestehend aus einem Chuck, einem Chuckantrieb, Steuerelektronik, Sonden- oder Sondenkartenaufnahmemittel, mit einem Handlingsystem, einer Substratmagazinstation und einer Ausrichtstation, wobei mindestens zwei Testanordnungen (1; 2; 11; 12; 14; 15) vorgesehen sind, die alle gemeinsam mit dem Handlingsystem (3), der Substratmagazinstation (7) und der Ausrichtstation (10) in Wirkungsverbindung stehen, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Testanordnung (1; 2; 11; 12; 14; 15) einen temperierbaren Thermochuck aufweist.