Gassensor und Verfahren zur Detektion von Substanzen nach dem Prinzip der Austrittsarbeitsmessung

Die Erfindung betrifft einen Gassensor und ein Verfahren zur Detektion von einer oder mehreren Substanz(en) in einem Gas und/oder einer Flüssigkeit nach dem Prinzip der Austrittsarbeitsmessung. Der Gassensor weist gemäß einem ersten Aspekt zwei Feldeffektstrukturen (Meß- und ReferenzFET) mit jeweils...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	ZIMMER, MARTIN, EISELE, IGNAZ, BURGMAIR, MARKUS
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft einen Gassensor und ein Verfahren zur Detektion von einer oder mehreren Substanz(en) in einem Gas und/oder einer Flüssigkeit nach dem Prinzip der Austrittsarbeitsmessung. Der Gassensor weist gemäß einem ersten Aspekt zwei Feldeffektstrukturen (Meß- und ReferenzFET) mit jeweils einem Kanal (3, 3') zwischen einem Source- und einem Drainbereich auf sowie eine Gateelektrode (G) mit einem sensitiven Material (8), wobei durch eine Änderung der Austrittsarbeit des sensitiven Materials (8), z. B. durch die Adsorption von Molekülen der Substanz auf der Oberfläche des sensitiven Materials (8), der Drainstrom (I¶DS¶) im Kanal (3) des MeßFETs beeinflußbar ist. Der Temperaturgang des Drainstroms (I¶DS¶) des MeßFETs wird durch einen Vergleich mit dem Drainstrom (I¶DS¶) eines ReferenzFETs (RefFET) referenziert. Gemäß einem zweiten Aspekt ist der Kanal (3) des MeßFETs durch eine den Kanal (3) umgebende Guardelektrode (10) vor elektrischen Störeinflüssen geschützt, die bei hohen Feuchten verstärkt auftreten.