Positioniereinrichtung für Halbleiterobjekte

Bei einer Positioniereinrichtung für Halbleiterobjekte besteht die Aufgabe, den Druchsatz bei einer uneingeschränkten Vorder- und Rückseiten-Inspektion von Halbleiterobjekten sowie die dabei erforderliche Sicherheit zu erhöhen. DOLLAR A Die Positioniereinrichtung enthält einen rahmenförmigen Objekth...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	KOENIG, JOACHIM, RAUE, HAGEN, HEINZE, MANFRED
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CINEMATOGRAPHY COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOTDIRECTED TO A PARTICULAR RESULT DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g.ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MACHINE TOOLS MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OFPARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS MATERIALS THEREFOR MEASURING METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ORIGINALS THEREFOR PERFORMING OPERATIONS PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES TESTING TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Bei einer Positioniereinrichtung für Halbleiterobjekte besteht die Aufgabe, den Druchsatz bei einer uneingeschränkten Vorder- und Rückseiten-Inspektion von Halbleiterobjekten sowie die dabei erforderliche Sicherheit zu erhöhen. DOLLAR A Die Positioniereinrichtung enthält einen rahmenförmigen Objekthalter, der einen Freiraum für die Aufnahme des Halbleiterobjektes umschließt und Auflagen und Andruckelemente zur Klemmung des Halbleiterobjektes in dessen Randbereich enthält. Jedes Andruckelement ist in dem Objekthalter mit einem Antrieb verbunden, der eine Bewegung des Andruckelementes in einer Ebene erzeugt, die senkrecht zu der Auflageebene gerichtet ist, wobei das Halbleiterobjekt in einer Endposition an der Auflage fixiert ist und in der anderen Endposition, bei der das Andruckelement aus dem Freiraum herausgenommen ist, zur Handhabung freigegeben ist. DOLLAR A Derartige Einrichtungen können zur Positionierung von flachen Objekten im Raum und bei der Inspektion von Halbleiterwafern oder Flachbildschirmen in der Fertigung verwendet werden. The apparatus includes a frame-like object holder for receiving the semiconductor object. The holder encloses a free space for receiving the object, and has stop pieces and pressing members for holding the object at its edge region. Each pressing member is connected to a drive which produces a movement in the pressing member in one plane (FE), perpendicular to the support plane. An Independent claim is also included for a further positioning apparatus.