Arrangement for illuminating object field in optical device has controller for generating commands for positional adjustment of light source and/or optics depending on detected parameters

The arrangement has an illumination device (41) with an adjustable light source (42) and illumination optics (43a,b), an adjuster (44) with at least one drive for adjusting the positions of the source and/or optics, at least one measurement device (55) for detecting parameters of the light produced and a controller (56) for generating control commands for positional adjustment of the source and/or optics depending on the detected parameters. AN Independent claim is also included for the following: a method of illuminating an object field in an optical device. Erfindungsgemäß umfaßt eine Anordnung zur Beleuchtung eines Objektfeldes in einem optischen Gerät (40) eine Beleuchtungseinrichtung (41) mit einer Lichtquelle (42) und einer Beleuchtungsoptik (43), wobei zumindest die Lage der Lichtquelle (42) verstellbar ist, eine Einstelleinrichtung (44) mit mindestens einer motorischen Antriebseinrichtung (45, 46) zur automatischen Lageverstellung der Lichtquelle (42) und/oder der Beleuchtungsoptik (43), wenigstens eine Meßeinrichtung (55) zur Erfassung von Parametern des von der Beleuchtungseinrichtung (41) erzeugten Lichts, und eine Steuereinrichtung (56), die aus dem Vergleich der gemessenen Parameter mit vorgegebenen Soll-Parametern Steuerbefehle für die motorischen Antriebe (45, 46) zur Lageverstellung der Lichtquelle (42) und/oder der Beleuchtungsoptik (43) generiert. Weiterhin wird ein entsprechendes Verfahren angegeben. DOLLAR A Damit wird eine reproduzierbare Beleuchtung des Objektfelds mit gleichbleibend hoher Güte der Beleuchtung erzielt. Eine Nachjustierung erfolgt bei Bedarf automatisch.