Filter arrangement for filtering used air during laser processing of workpieces, especially circuit boards, has mechanical pre-separation device, pre-filtering and fine filtering devices

The filter arrangement has used air channel with an inlet opening for the used air (14), a suction fan for producing a used air flow, whereby the air is transported through a filter device by the fan, a mechanical pre-separation device (16) and pre-filtering and fine filtering devices (18,24,26) arranged after the pre-separation device. Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Filterung von Abluft bei der Laserbearbeitung von Werkstücken, insbesondere von Leiterplatten, mit einem eine Eintrittsöffnung für die Abluft (14) aufweisenden Abluftkanal sowie einem einen Abluftstrom erzeugenden Absaugventilator, wobei die Abluft (14) mittels des Absaugventilators durch mindestens eine im Abluftstrom angeordnete Filtereinrichtung (10, 12) förderbar ist. Um eine hohe Filterwirkung und lange Standzeit der Filtereinheiten zu erreichen, ist gemäß der Erfindung vorgesehen, daß die Anordnung eine mechanische Vorabscheideeinrichtung (16) und dieser nachgeordnete Vorfilter- und Feinfiltereinrichtungen (18, 24, 26) aufweist.