Verfahren zur gezielten Einstellung der Stufenhöhe bei der STI-Technik zur Herstellung von integrierten Schaltungen

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	TRUEBY, ALEXANDER, CURELLO, GIUSEPPE, AMON, JUERGEN
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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