Resonant scanner has drive formed from stator electrode and coil, for exerting force directly onto drive plate, with periodic function adapted to resonant frequency of mirror

A drive plate (4) within a frame (3) is fixed by two torsion springs (6) so that it can oscillate about a torsion axis (8). A mirror (5) is fixed by two further torsion springs (7) so that is can oscillate about a torsion axis (9). A stator electrode (15) and coil (24) are arranged to form a drive on the base (11) of the stator part (2), to exert a force directly on the drive plate. The force follows a periodic function whose period is adapted to the resonant frequency of the mirror, which is different from the resonant frequency of the drive plate. Resonanzscanner, bei dem ein Rahmen (3), eine Antriebsplatte (4), ein Spiegel (5) und Torsionsfedern (6, 7) ein Aktorteil (1) bilden, wobei die Antriebsplatte (4) innerhalb des Rahmens (3) durch zwei erste Torsionsfedern (6) so befestigt ist, daß die Antriessplatte (4) um eine gemeinsame erste Torsionsachse (8) beider Torsionsfedern (6) schwingungsfähig ist, der Spiegel (5) innerhalb der Antriebsplatte (4) durch zwei zweite Torsionsfedern (7) so befestigt ist, daß der Spiegel (5) um eine gemeinsame zweite Torsionsachse (9) beider Torsionsfedern (7) schwingungsfähig ist und die erste Torsionsachse (8) und die zweite Torsionsachse (9) parallel zueinander verlaufen, weiterhin nur der Rahmen (3) des Aktorteils (1) auf Seitenwänden (10) eines kastenförmigen Statorteils (2) befestigt ist, auf einem Boden (11) des Statorteils (2) ein Antriebsmittel (Statorelektroden 15 und Spule 24) nur im Bereich der geometrisch flächenhaften Ausdehnung der Antriebsplatte (4) angeordnet ist und der Boden (11) im Bereich der geometrisch flächenhaften Ausdehnung des Spiegels (5) eine Ausnehmung (13) hat, die mindestens so groß bemessen ist, daß eine maximale mechanische Auslenkung des Spiegels (5) nicht durch den Boden (11) begrenzt wird, wobei das Antriebsmittel (Statorelektroden 15 oder Spule 24) eine Kraft nur unmittelbar auf die Antriebsplatte (4) ausübt und diese Kraft einer periodischen Funktion folgt, deren Periode auf die Eigenfrequenz des Spiegels (5) abgestimmt ist, die sich von der ...