Mikromechanischer kapazitiver Beschleunigungssensor

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	PRECHTEL, ULRICH, KNITTL, PETER, KAPSER, KONRAD, SEIDEL, HELMUT, WEINACHT, MANFRED, TOELG, SEBASTIAN
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT MEASURING MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK PHYSICS TESTING
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