Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines mindestens eine gasförmige Komponente enthaltenden Gasgemisches, insbesondere eines Kalibriergases

In a process to prepare a calibration gas incorporating a trace element of given concentration, the matrix gas is supplied at a constant rate and the trace element gas is introduced. Introduction is by constant rate discharge as identical 30-50 microdroplets from a pulse-operated piezoelectric jet (...

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Hauptverfasser: ALBINUS, THOMAS, SCHRAM, JUERGEN
Format: Patent
Sprache:ger
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