Semiconductor chip used in control modules or storage modules comprises an elastic film laminated on a main side

Semiconductor chip comprises an elastic film (4) laminated on a main side (1). Bei dem Halbleiterchip ist auf einer Hauptseite (1), z. B. auf der Rückseite eines bei der Herstellung verwendeten Halbleiterkörpers oder Substrates, eine elastische Folie (4) auflaminiert. Die gesamte Dicke des Halbleite...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: MAYERHOFER, BORIS, MUELLER, JOCHEN, HUBER, MICHAEL
Format: Patent
Sprache:eng ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Semiconductor chip comprises an elastic film (4) laminated on a main side (1). Bei dem Halbleiterchip ist auf einer Hauptseite (1), z. B. auf der Rückseite eines bei der Herstellung verwendeten Halbleiterkörpers oder Substrates, eine elastische Folie (4) auflaminiert. Die gesamte Dicke des Halbleiterchips einschließlich der Folie beträgt höchstens 150 mum. Als Folie wird vorzugsweise kupferkaschiertes Polyimid verwendet. Bei einer bevorzugten Ausgestaltung besitzen die Folie und der damit versehene restliche Anteil (3) des Halbleiterchips je eine Dicke (5, 6) von höchstens 50 mum.