Sensorchip mit Zusatzheizer bzw. Verfahren zur Vermeidung von Verschmutzungen auf einem Sensorchip bzw. Verwendung eines Zusatzheizers auf einem Sensorchip

Bei einem Sensorchip nach dem Stand der Technik können sich Verunreinigungen eines strömenden Mediums im Bereich eines Sensorbereichs niederschlagen und diese dauerhaft verschmutzen, was zu einer negativen Beeinflussung des Messverhaltens der Membran führt. DOLLAR A Bei einem erfinungsgemäßen Sensor...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	KONZELMAN, UWE, HECHT, HANS, SCHULZ, TORSTEN
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	MEASURING MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUIDLEVEL METERING BY VOLUME PHYSICS TESTING
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	Bei einem Sensorchip nach dem Stand der Technik können sich Verunreinigungen eines strömenden Mediums im Bereich eines Sensorbereichs niederschlagen und diese dauerhaft verschmutzen, was zu einer negativen Beeinflussung des Messverhaltens der Membran führt. DOLLAR A Bei einem erfinungsgemäßen Sensorchip (1) ist ein Zusatzheizer (39) angeordnet, der strömungsaufwärts und in einem deutlichen Abstand von dem Sensorbereich angeordnet ist. Dies führt dazu, dass die Verunreinigungen des strömenden Mediums sich im Bereich des Zusatzheizers (39) niederschlagen, d. h. also nicht mehr zum Sensorbereich (17) gelangen können.