Method for connecting integrated circuit test head to automatic handling device, with improved pipe connection, allowing low temperature testing of ICs by supply of carbon dioxide vapor to test head

Handling device has a first pipe-line with a connection opening, while the test head itself has a second pipe-line section with a connection opening, such that the two match together when handling device and test head are joined together. The automatic handling device has a fluid supply device or pump to transport cooling fluid or gas such as dry ice (carbon dioxide gas) to test box on the handling device that cools the IC and prevents ice formation. Ein zu testender IC kann in einer geeigneten Temperaturumgebung getestet werden, indem lediglich ein Testkopf an eine automatische Handhabungseinrichtung ohne komplizierte Vorgänge angeschlossen wird. Die automatische Handhabungseinrichtung wird an den Testkopf durch einen Rohrleitungsabschnitt in der automatischen Handhabungseinrichtung und einen Rohrleitungsabschnitt in dem Testkopf angeschlossen. Die automatische Handhabungseinrichtung weist eine Trockenluft-Zuführeinheit auf, die eine Testumgebung des zu testenden IC aufrechterhält, indem Trockenluft zu dem Testkopf durch die Rohrleitungsabschnitte zugeführt wird. Die automatische Handhabungseinrichtung weist eine Leitungsöffnung auf, während der Testkopf eine Anschlussöffnung aufweist, die zu der Leitungsöffnung leitet, wenn die automatische Handhabungseinrichtung und der Testkopf aneinander angeschlossen sind.