Verfahren zur Herstellung eines mikroelektronischen Bauelements

The invention relates to methods for producing a semiconductor element in a GaAs compound semiconductor material, especially a heterostructure GaAs semiconductor material, for example a hetero-bipolar transistor. The invention allows production of a low-impedance contact resistance with high long-te...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	BLANCK, HERVE, RIEPE, KLAUS J, DOSER, WOLFGANG
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!