Calibrating partial pressure of quadrupol mass spectrometers for very pure gases in ultra high vacuum comprises removing impurities from gas, regulating gas inlet, and synchronizing pressure rise

Calibrating the partial pressure of quadrupol mass spectrometers for very pure gases in an ultra high vacuum comprises feeding the gas to be calibrated through a liquid nitrogen trap to remove impurity components; regulating the gas inlet with a dosing valve and a corner valve of a turbo pump so that pressures are adjusted in the region of 10 to 5 mbar on a pressure measuring tube of a capillary; and synchronizing the pressure rise with an ionization vacuum meter and the measurements of the partial pressure on the spectrometer and residual gas analyzer so that the partial pressure of the very pure gases is calibrated with known specific calibrating factors. An Independent claim is also included for a calibrating device for calibrating the partial pressure of quadrupol mass spectrometers for very pure gases in a ultra high vacuum. Preferred Features: The pressure measuring tube is a capacitive pressure measuring tube. Mit bekannten, gasart-spezifischen Kalibrierfaktoren wird der Partialdruck von Reinstgasen am RGA gegen das DKD-kalibrierte Ionisations-Vakuummeter kalibriert. DOLLAR A Die Kalibriereinrichtung zur Durchführung des Verfahrens zur Partialdruck-Kalibrierung von Quadrupol-Massen-Spektrometern für Reinstgase im Ultrahochvakuum bei verschiedenen Drucken besteht aus: DOLLAR A einem Rezipienten, einem an den Rezipienten angeschlossenen Quadrupolmassenspektrometer, dem Residual-Gas-Analysator (RGA), einem an den Rezipienten angeschlossenen DKD-kalibrierten Ionisations-Vakuummeter, einer über ein Ventil am Rezipienten endenden Kapillare, über die das vorgesehene Gas eingelassen wird, einer zweiten, an der Zuleitung zur Kapillare über ein Eckventil angeflanschten Turbomolekularpumpe, einem Dosierventil am Anfang der Zuleitung, einer Flüssig-Stickstoff-Kühlfalle an der Zuleitung zwischen dem Dosierventil und dem Eckventil und einer für ein Grob- und Feinvakuum geeigneten Druckmeßröhre zwischen der Kühlfalle und dem Eingang zur Kapillare.