Verfahren zur Reinigung von Silan enthaltenden Abgasströmen

Verfahren zur Reinigung von Silan enthaltenden Abgasströmen

Verfahren zur Verringerung des Gehalts an Silan aus Abgasströmen, durch Kontaktieren mit flüssigen Siliciumtetrachlorid, und Umsetzen in Gegenwart eines Katalysators zur Herabsetzung des Gehalts an Silan bei gleichzeitiger Erhöhung des Gehalts an Trichlorsilan und anschließender Isolierung und Abtre...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: LEIMKUEHLER, HANS-JOACHIM. DR, WEBER, RAINER. DR, SCHAEFER, JOHANNES-PETER, OLF, GUENTER. DR, BLOCK, HANS-DIETER. DR
Format: Patent
Sprache:ger
Schlagworte:
CHEMISTRY
COMPOUNDS THEREOF
INORGANIC CHEMISTRY
METALLURGY
NON-METALLIC ELEMENTS
PERFORMING OPERATIONS
PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
SEPARATION
TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:Verfahren zur Verringerung des Gehalts an Silan aus Abgasströmen, durch Kontaktieren mit flüssigen Siliciumtetrachlorid, und Umsetzen in Gegenwart eines Katalysators zur Herabsetzung des Gehalts an Silan bei gleichzeitiger Erhöhung des Gehalts an Trichlorsilan und anschließender Isolierung und Abtrennung des Trichlorsilans, dadurch gekennzeichnet, dass - als Katalysator ein oder mehrere basische, hochsiedende, im Siliciumtetrachlorid gelöste Katalysatoren vom Trialkylamin- oder Aryldialkylamin-Typ verwendet werden und - die Umsetzung im Gegenstrom durch eine Gegenstromführung von Silan enthaltendem Gas und flüssigem Siliciumtetrachlorid erfolgt.