Scanning unit for optical position measurement device has compensation detector elements with centers of area on circle of center coincident with optical axis defined by light source center

The unit has a light source (21), an incremental signal scanning arrangement (22.1-22.8), reference pulse detector elements (24.1-24.4) and several compensation detector elements (23.1-23.4) distributed around the incremental signal scanning arrangement so that their centers of area lie on a circle whose center point coincides with the optical axis (OA) defined by the geometric center point of the light source. Es wird eine Abtasteinheit für eine optische Positionsmesseinrichtung angegeben, über die neben Inkrementalsignalen auch Referenzimpulssignale erzeugbar sind, um derart einen Absolutbezug der Positionsmessung herstellen zu können. Hierzu wird ein Maßstab abgetastet, der mindestens eine Inkrementalteilungsspur sowie zwei seitlich benachbart angeordnete Referenzmarkierungen an mindestens einer definierten Referenzposition umfaßt. Zur Abtasteinheit gehört neben einer Lichtquelle eine symmetrisch um die Lichtquelle bzw. um die durch die Lichtquelle definierte optische Achse angeordnete Anordnung aus mehreren Inkrementalsignal-Detektorelementen. Diese sind jeweils derart zueinander angeordnet, dass damit phasenversetzte Teil-Inkrementalsignale aus der Abtastung der Inkrementalteilungsspur erzeugbar sind. Ferner umfasst die Abtasteinheit mindestens zwei Referenzimpuls-Detekorelemente, die senkrecht zur Messrichtung und jeweils benachbart zur Anordnung der Inkrementalsignal-Detektorelemente angeordnet sind und zur Erzeugung eines Ausgangs-Referenzimpulssignals dienen. Des weiteren weist die Abtasteinheit mehrere Kompensations-Detektorelemente auf, die zur Erzeugung eines Kompensationssignals mir konstantem Signalpegel dienen. Die Kompensations-Detektorelemente sowie die Referenzimpuls-Detektorelemente sind derart um die Inkrementalsignal-Abtastanordnung verteilt angeordnet, dass deren Flächenschwerpunkte auf einer Kreislinie liegen, deren Mittelpunkt mit der optischen Achse ...