Interferometer device e.g. for eye surgery has beam guide which directs superimposed beam onto surfaces
The interferometer device includes a device (111) for splitting a beam from a source (13b) into two. A beam guide (103,105) directs the superimposed beams onto two partially reflective structures (3b,5b). The first structure (3b) is constituted by the beam guide. Independent claims are also included...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | The interferometer device includes a device (111) for splitting a beam from a source (13b) into two. A beam guide (103,105) directs the superimposed beams onto two partially reflective structures (3b,5b). The first structure (3b) is constituted by the beam guide. Independent claims are also included for: (a) a method of determining the distance of a partially reflecting structure from a reference surface; (b) an eye surgery method; (c) a method of manufacturing a body with a defined surface.
Es wird eine Interferometeranordnung vorgeschlagen, welche eine Strahlungsquelle 13b zur Emission von Strahlung einer vorbestimmten Kohärenzlänge, eine Vorrichtung 89b, 91b zum Aufteilen eines von der Strahlungsquelle emittierten Strahls in zwei Teilstrahlen und zum nachfolgenden Überlagern der beiden Teilstrahlen und eine Strahlführungseinrichtung 105b, um die überlagerten Teilstrahlen auf zwei in Strahlrichtung mit Abstand voneinander angeordnete teilreflektierende Strukturen 3b, 5b zu richten, umfasst. DOLLAR A Eine erste 3b der beiden Strukturen kann durch die Strahlführungseinrichtung 105b selbst bereitgestellt sein. DOLLAR A Ferner kann eine Lichtwegänderungsvorrichtung 43b und ein Detektor 129 zum Empfang von einer Überlagerung von von den beiden Strukturen zurückgeworfener Strahlung vorgesehen sein, wobei ein Quotient aus der optischen Weglänge des ersten Teilstrahls zwischen Aufteilung und Überlagerung geteilt durch die optische Weglänge des zweiten Teilstrahls zwischen Aufteilung und Überlagerung vergleichsweise klein ist. DOLLAR A Ferner können eine Strahlteilungseinrichtung 111 zum Aufteilen einer Überlagerung von Strahlung, die von den beiden Strukturen zurückgeworfen wurde, in zwei weitere Teilstrahlen 117, 119 und zwei Abstrahlanordnungen 121, 123, um die beiden weiteren Teilstrahlen derart abzustrahlen, dass diese auf einem Schirm 129 zu einem Interferenzmuster überlagerbar sind, DOLLAR A vorgesehen sein. |
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