Device for treating workpieces with electron beams has at least electron beam generating unit and process chambers that can be evacuated independently of each other

The device has an electron beam generator unit (1), a beam guidance chamber (2) with a deflection system, vacuum valves and process chambers (5,5') for workpieces. At least the electron beam generating unit and the process chambers are can be evacuated independently of each other. Process pre-chambers (17,17') are arranged between the beam guidance chambers and the process chambers. Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Behandlung von Werkstücken mit Elektronenstrahlen, insbesondere zum Schweißen, Härten oder Umschmelzen von Nocken- oder Kurbelwellen, mit einer Elektronenstrahlerzeugereinheit, einer Strahlführungskammer mit einem Strahlablenksystem, Vakuumventilen und Prozeßkammern zur Aufnahme der Werkstücke. Die Einrichtung zeichnet sich dadurch aus, daß zumindest die Elektronenstrahlerzeugereinheit und die Prozeßkammern unabhängig voneinander evakuierbar sind.