Piezoelectric deflection device for optical rays e.g. beam scanner, has end region of piezoelectric plate provided with highly reflective coating for reflection of incident beam
The deflection device has a piezoelectric plate (14) provided with piezoelectric regions (15,16) and piezoelectrodes (20,21), receiving a control voltage, with at least one end region (22) of the piezoelectric plate projecting beyond the piezoelectrodes, and provided with a highly reflective coating...
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| Hauptverfasser: | , |
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| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; ger |
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| Zusammenfassung: | The deflection device has a piezoelectric plate (14) provided with piezoelectric regions (15,16) and piezoelectrodes (20,21), receiving a control voltage, with at least one end region (22) of the piezoelectric plate projecting beyond the piezoelectrodes, and provided with a highly reflective coating for reflection of an incident optical beam.
Bei einer Vorrichtung zur Ablenkung von optischen Strahlen (25) ist ein Piezoplättchen (14) vorhanden, das über mit Piezoelektroden (20, 21) ansteuerbare piezoelektrische Bereiche (15, 16) verfügt. Das Piezoplättchen (14) ist wenigstens in einem Endabschnitt (22) frei von Piezoelektroden (20, 21), wobei der freie Endabschnitt (22) eine Größe aufweist, die wenigstens den Dimensionen der ihn beaufschlagenden Strahlen (25) entspricht. Dadurch wird eine schnelle, die Wellenfronten der Strahlen (25) im wesentlichen ungestört belassende Ablenkung erreicht. |
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