Holder for wafer has ring element and at least one holding ring for insertion into ring element, whereby wafer can be positioned inside ring element by holding ring

The device has a ring element (2) and at least one holding ring (3) for insertion into the ring element, whereby the wafer can be positioned inside the ring element by the holding ring. The holding ring has a smaller thickness than the ring element in the axial direction, is made of an elastic material and has an opening (4) along its circumference. Eine Halteeinrichtung (1) für einen Wafer weist ein Ringelement (2, 18) und zumindest einen in das Ringelement (2, 18) einsetzbaren Haltering (3, 21) auf. Der Wafer ist innerhalb des Ringelements (2, 18) auf einer Auflagefläche positionierbar und wird von dem Haltering (3, 21) planarisiert so fixiert, daß in eingesetztem Zustand eine ursprüngliche Wölbung des Wafers aufgehoben ist. In diesem Zustand sind die Außenkanten des Wafers von einer Flanke des Ringelements (2) umschlossen und somit vor schädigenden Einwirkungen von außen geschützt. Die Halteeinrichtung (1) ist insgesamt so dimensioniert, daß sie an Standardgrößen von Wafern angepaßt und in Verbindung mit Standardhorden verwendbar ist.