Production of tubular micromechanical component, e.g. stents, comprises coating a tube with a photolacquer, forming a pattern, simultaneously inserting figures, removing the exposed regions and etching the tube

Production of tubular micromechanical components, comprises: (i) coating a tube with a photolacquer; (ii) forming a pattern on the outer surface of the tube; (iii) simultaneously inserting figures; (iv) removing the exposed regions of the pattern; (v) providing the inside of the tube with an etch-resistant material; and (vi) etching the prepared tube. Production of tubular micromechanical components, comprises: (i) coating a tube with a photolacquer; (ii) forming a pattern on the outer surface of the tube using photolithography; (iii) simultaneously inserting figures in an exposure step; (iv) removing the exposed regions of the pattern which correspond to later openings; (v) providing the inside of the tube with an etch-resistant passivating material; and (vi) etching the prepared tube. The step of providing the tube with an etch-resistant passivating material is carried out before or after the step of coating the tube with a photolacquer. An Independent claim is also included for an apparatus for carrying out the process, comprising: (a) an exposure device (7) for exposing a pattern (6) to the photolacquer (4) of the tube (2); (b) a holder for holding the tube in a defined position relative to the exposure device; and (c) an etching device for etching the prepared tube. Bei der Herstellung von röhrchenförmigen mikromechanischen Komponenten, insbesondere sogenannten Stents, wird ein bestimmtes Muster (6) direkt auf ein dreidimensionales Modell, z. B. ein Röhrchen (2), fotolithographisch unter Verwendung einer Fotomaske belichtet, wobei das Röhrchen mit einem Fotolack (4) beschichtet ist. Das entsprechend nach der Belichtung präparierte Röhrchen wird anschließend geätzt, sodass sich die gewünschte Komponente bzw. der Stent ergibt. Die Belichtung des Fotolackes (4) des Röhrchens (2) erfolgt vorzugsweise über eine ebene Maske (14), die mit einer bestimmten Lineargeschwindigkeit (V) an dem Röhrchen (2) vorbeibewegt wird, wobei das Röhrchen mit einer auf diese Lineargeschwindigkeit (V) synchronisierten Drehgeschwindigkeit (R) um die Längsachse gedreht wird, sodass sich bei einer linienförmigen Belichtung des Fotolackes durch eine Belichtungseinrichtung (7) das bestimmte Muster (6) auf dem Fotolack (4) des Röhrchens (2) ergibt.