Miniature actuator of magnetic solenoid type formed on semiconductor substrate as integrated unit with electronic control system

On silicon substrate (Si) oxide layers are deposited on one of which are wound copper primary windings (Cu) and on other aluminum secondary windings (Al). Magnetic circuit is then formed by incorporation of magnetic micromechanical parts with the substrate or by spraying it with ferromagnetic material to form supply transformer. Other coils wound on substrate form an electromagnet controlled by integrated electronic circuits on same chip Bei Aktoren für mechanische Bewegungen, wie auch für Anzeigen etc., kommt es aus Kostengründen und aus Gründen der leichteren Handhabbarkeit und des Umweltschutzes mehr und mehr darauf an, daß die mechanischen Abmessungen und das Gewicht gering gehalten werden und der Wirkungsgrad verbessert wird. In der beschriebenen Lösung kommt man beiden Zielen näher durch: DOLLAR A a. den Einsatz von Halbleiterinduktivitäten (kleinere Abmessungen, Reduzierung von Verlustleistung durch Widerstände und durch die Möglichkeit, andere Bauelemente mit zu integrieren), die, je nach Bedarf, auch durchbrochen sind, um einen magnetischen Kreis zu formen, und DOLLAR A b. den Einsatz von elektronisch kontrollierten Elektromagneten, die in vielen Fällen Motoren ersetzen können und bei denen das Getriebe und andere Funktionen in der Steuerelektronik mit integriert sind bzw. vom Speicher mit wahrgenommen werden können. DOLLAR A Schlagworte: DOLLAR A Aktor mit kleinen Abmessungen DOLLAR A Aktor mit hohem Wirkungsgrad DOLLAR A Halbleiterübertrager DOLLAR A elektrischer Antrieb