VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG LICHTLEITENDER STRUKTUREN DURCH IONENIMPLANTATION

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	GEILER,HANS-DIETER,DD, ZIEGLER,WOLFGANG,DD, GOETZ,GERHARD,DD
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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