A scintillation detection unit for detecting backscattered electrons for electron or ion microscopes

Scintilační detekční jednotka mající tubus (2) s podélnou osou (3) se skládá z těla (5) a alespoň jedné soustavy (6) pro zpracování světelného signálu tvořené fotodetektorem nebo fotodetektorem s předřazenými dalšími optickými členy. Vstup (9) soustavy (6) je umístěn v těsné blízkosti těla (5) scintilační detekční jednotky (1). Tělo (5) je alespoň částečně tvořeno scintilačním materiálem a je alespoň z části umístěno v tubusu (2) elektronového nebo iontového mikroskopu a je tvořeno alespoň jedním dutým tělesem (11, 11.1, 11.2, 11.3, 11.4), které mají ve spodní podstavě vytvořeny spodní otvory (12A, 12.1A, 12.2A, 12.3A, 12.4A) a v horní podstavě horní otvory (12B, 12.1B, 12.2B, 12.3B, 12.4B) pro průchod primárního svazku nabitých částic. Dutinou, spodními otvory (12A, 12.1A, 12.2A, 12.3A, 12.4A) a horními otvory (12B, 12.1B, 12.2B, 12.3B, 12.4B) prochází podélná osa (3). Výška (v) těla (5) scintilační detekční jednotky (1) ve směru podélné osy (3) je větší než jeden a půl násobek největší šířky (š) měřené ve směru kolmém na podélnou osu (3) tubusu toho z dutých těles (11, 11.1, 11.2, 11.3, 11.4), u něhož je tato šířka největší. V případě zařazení více dutých těles (11.1, 11.2, 11.3, 11.4) tvořících tělo (5) je jeho výška (v) ve směru podélné osy (3) dána součtem průmětů použitých těles (11.1, 11.2, 11.3, 11.4) na podélnou osu (3). Pokud se některé z průmětů překrývají, do celkové výšky (v) se započtou pouze jednou. Povrchové vrstvy dutého tělesa (11, 11.1, 11.2, 11.3, 11.4) přivrácené k podélné ose (3) jsou buď celé tvořeny aktivní scintilační vrstvou (10), nebo jsou alespoň částečně aktivní scintilační vrstvou (10) opatřeny. Spodní konec těla (5) scintilační detekční jednotky (1) leží nad zkoumaným preparátem (4). A scintillation detection unit having a tube (2) with a longitudinal axis (3) consists of a body (5) and at least one system (6) for processing a light signal formed by a photodetector or a photodetector with preceding additional optical elements. The inlet (9) of the system (6) is located in close proximity to the body (5) of the scintillation detection unit (1). The body (5) is at least partially formed by scintillation material and is at least partially located in the electron microscope or ion microscope tube (2) and is formed by at least one hollow body (11, 11.1, 11.2, 11.3, 11.4) which have lower openings (12A, 12.1A, 12.2A, 12.3A, 12.4A) in the lower base and upper openings (12B, 12.1B, 12.2B, 12.3B, 12.4B) in the upper base for passing