Method of analyzing material by a focused electron beam by making use of characteristic X-ray radiation and knocked-on electrons and apparatus for making the same

Je rešen zpusob analýzy materiálu fokusovaným elektronovým svazkem a zarízení k jeho provádení, kdy se vytvárí elektronová mapa B popisující intenzitu emise zpetne odražených elektronu v ruzných bodech na vzorku a spektrální mapa S popisující intenzitu emise rentgenového zárení v bodech na vzorku v závislosti na energii zárení. Pro vybrané chemické prvky se vytvorí rentgenové mapy M.sub.i.n. vyjadrující intenzitu rentgenového zárení charakteristického pro tyto prvky. Rentgenové mapy M.sub.i.n. a elektronová mapa B se prevedou na diferencní rentgenové mapy D.sub.i.n., které se následne sloucí do výsledné diferencní mapy D. Výsledná diferencní mapa D je poté použita pro vyhledání cástic. Následne se pro každou cástici vypocte kumulované spektrum X.sub.j.n. rentgenového zárení, pricemž body na vzorku na okraji cástice mají nižší váhu než body uvnitr cástice. Z kumulovaného spektra X.sub.j.n. se následne pomocí kvantitativních spektroskopické analýzy urcí procentuální zastoupení chemických prvku v této cástici. A material analysis method by a focused electron beam and an equipment for performing such an analysis where an electron map B is created describing the intensity of emitted back-scattered electrons at various points on a sample, and a spectral map S is created describing the intensity of emitted X-rays at points on the sample depending on the radiation energy. For selected chemical elements, X-ray maps Mi are created representing the intensity of X-rays characteristic for such elements. The X-ray maps Mi and the electron map B are converted into differential X-ray maps Di, which are subsequently merged into a final differential X-ray map D. The final differential X-ray map D is then used to search particles. Subsequently, a cumulative X-ray spectrum Xj is calculated for each particle and subsequently the classification of particles based on the peak intensities and the intensity of back-scattered electron is performed.