PROCEDIMIENTO PARA LA OBTENCION DE RECUBRIMIENTOS DE MULTICAPAS DE TIN/ZRN POR PAPVD POR ARCO PULSADO
Procedimiento para la obtención de recubrimientos de multicapas de TiN/ZrN por PAPVD por arco pulsado. Mediante este procedimiento es posible obtener capas delgadas sobre diferentes piezas con buena adherencia, elevada dureza, alta resistencia al desgaste, a la corrosión, y estabilidad química con e...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | Procedimiento para la obtención de recubrimientos de multicapas de TiN/ZrN por PAPVD por arco pulsado. Mediante este procedimiento es posible obtener capas delgadas sobre diferentes piezas con buena adherencia, elevada dureza, alta resistencia al desgaste, a la corrosión, y estabilidad química con el entorno; con el fin de prolongar su vida útil. Dicho procedimiento está caracterizado porque comprende las siguientes etapas: preparación de la pieza a recubrir, montaje de la pieza, montaje del blanco de trabajo, sellamiento de la cámara, fijación de la distancia interelectródica, obtención de vacío,realización de purgas, realización de descarga Glow, obtención de presión de trabajo, realización de descarga de arco, descarga del banco de condensadores, obtención de vacío, inyección de gas reactivo, obtención de presión ambiente.Procedimiento para la obtención de recubrimientos de multicapas de TiN/ZrN por PAPVD por arco pulsado, según la reivindicación 1, caracterizado porque el diseño de las multicapas consiste en la formación de varias capas de Nitruro de Titanio (TiN) y Nitruro de Zirconio (ZrN) de la forma TiN/ZrN/.../TiN/ZrN.Procedimiento para la obtención de recubrimientos de multicapas de TiN/ZrN por PAPVD por arco pulsado, según la reivindicaciones 1 y 2, caracterizado porque las etapas del proceso a partir del montaje del blanco de trabajo, deben ser repetidas en un número de veces igual a las capas que se desean obtener en la multicapa.Procedimiento pam la obtención de recubrimientos de multicapas de TiN/ZrN por PAPVD por arco pulsado, según las reivindicaciones 1, 2 y 3 caracterizado porque el montaje del blanco en el cátodo debe intercambiarse entre Titanio y Zirconio según la capa que se desea obtener de acuerdo al diseño de la multicapa. Procedimiento para la obtención de recubrimientos de multicapas de TiN/ZrN por PAPVD por arco pulsado, según la reivindicación 1, caracterizado porque entre los electrodos debe haber una distancia de 7 mm tanto para las películas de Nitruro de Titanio (TiN) como para las películas de Nitruro de Zirconio (ZrN). |
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