Trichlorosilane synthetic furnace heating system

The utility model discloses a heating system of a trichlorosilane synthetic furnace, and belongs to the technical field of trichlorosilane synthesis. Comprising a trichlorosilane synthetic furnace, a hot water storage tank and a heater, wherein the trichlorosilane synthetic furnace is connected with...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: FENG HUAN, PENG YANG, PU YONG, LUO ZHOU, ZHANG XIAOQIANG, MING YONG, XIANG CHUNLIN, TU DAYONG, WANG CHAOYANG
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
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