Trichlorosilane synthetic furnace heating system
The utility model discloses a heating system of a trichlorosilane synthetic furnace, and belongs to the technical field of trichlorosilane synthesis. Comprising a trichlorosilane synthetic furnace, a hot water storage tank and a heater, wherein the trichlorosilane synthetic furnace is connected with...
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Format: | Patent |
Sprache: | chi ; eng |
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