高反射蓝宝石晶片基板及LED光源
本发明提供了一种高反射蓝宝石晶片基板,包括:蓝宝石衬底;设置在所述蓝宝石衬底上的图案化介电材料层,所述介电材料层的材料为二氧化硅,厚度为1.0μm~1.8μm;其中,所述介电材料层的折射率低于所述蓝宝石衬底的折射率,且所述图案化介电材料层包括多个间隔设置的第一凸起,所述第一凸起沿垂直方向的横截面为对称的五边形。本实用新型提供的高反射蓝宝石晶片基板,其图案化基板后续送外延成长,可达到跟传统用蓝宝石做成图形化基板可达到内部量子效率与组件的光萃取出率,相同效果;进一步的,本实用新型通过将所述介电材料层进行蚀刻,从而可以显著降低成本。...
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Format: | Patent |
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Sprache: | chi |
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Zusammenfassung: | 本发明提供了一种高反射蓝宝石晶片基板,包括:蓝宝石衬底;设置在所述蓝宝石衬底上的图案化介电材料层,所述介电材料层的材料为二氧化硅,厚度为1.0μm~1.8μm;其中,所述介电材料层的折射率低于所述蓝宝石衬底的折射率,且所述图案化介电材料层包括多个间隔设置的第一凸起,所述第一凸起沿垂直方向的横截面为对称的五边形。本实用新型提供的高反射蓝宝石晶片基板,其图案化基板后续送外延成长,可达到跟传统用蓝宝石做成图形化基板可达到内部量子效率与组件的光萃取出率,相同效果;进一步的,本实用新型通过将所述介电材料层进行蚀刻,从而可以显著降低成本。 |
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