Automatic equipment

The utility model provides automation equipment which comprises a process cavity, a process power supply cabinet, a vacuum unit, a system cabinet, a power distribution cabinet, an operation cabinet and a bridge. Wherein the system cabinet and the process power supply cabinet are respectively arrange...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: PENG ZHONGYE, YANG SHIFENG, LI RITIAN
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
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