Warpage wafer loader

The utility model provides a warpage wafer loader, warpage wafer loader includes the wafer box, all is equipped with on the inner wall of wafer box both sides to be suitable for the protruding structure of placing the wafer, warpage wafer loader is still including being fixed in the strutting arrang...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: LI XIAOJIN, JIAN ZIJIE, NIAN SIJUN
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
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