Surface blemish optical detection device

The utility model discloses a surface blemish optical detection device, detection device includes: laser instrument, polarizer, beam expanding lens, first polarization spectroscope, shearing prism, scanning mirror surface, heart scanning lens far away, total mark ball optical collector, a photoelect...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: LU HUIZONG
Format: Patent
Sprache:eng
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