System and method for determining line widths of free-standing structures resulting from a semiconductor manufacturing process

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	LUCARINI STEPHEN M.,BARTH KARL W.,LOH STEPHEN K
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!