Apparatus and method for single die backside probing of semiconductor devices

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	MCGINNIS PATRICK J.,MILES DARRELL L.,OLDREY RICHARD W.,SYLVESTRI JOHN D.,VILLALOBOS MANUEL J
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY MEASURING MEASURING ELECTRIC VARIABLES MEASURING MAGNETIC VARIABLES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES TESTING
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