Reliability of low-k dielectric devices with energy dissipative layer

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	CHEN SHYNG-TSONG T.,CHIRAS STEFANIE R.,LANE MICHAEL,LIN QINGHUANG,ROSENBERG ROBERT,SHAW THOMAS M.,SPOONER TERRY A
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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