Production of carbon nanotubes
一种利用含碳气体等离子体通过等离子体增强化学气相沉积法形成碳纳米管的方法，其中碳纳米管不是在300℃或以上的温度下形成在基片上的。 A method of forming carbon nanotubes by plasma enhanced chemical vapor deposition using a carbon containing gas plasma, wherein the carbon nanotubes are not formed on a substrate at a temperature 300° C. or above....
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| Format: | Patent |
| Sprache: | chi ; eng |
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| Zusammenfassung: | 一种利用含碳气体等离子体通过等离子体增强化学气相沉积法形成碳纳米管的方法，其中碳纳米管不是在300℃或以上的温度下形成在基片上的。
A method of forming carbon nanotubes by plasma enhanced chemical vapor deposition using a carbon containing gas plasma, wherein the carbon nanotubes are not formed on a substrate at a temperature 300° C. or above. |
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