Micro device

谐振器4和5能够相对于基底1水平和垂直地振荡。谐振器4主要由固定地与基底1接触的支撑部件、包括与谐振器5接触的接触表面和与电极7接触的接触表面的可动部件、以及耦合支撑部件与可动部件的衔接部件构成。电极6置于谐振器5和谐振器4相间隔开的方向上。电极7置于谐振器4和谐振器5相间隔开的方向上。电极9被置于这样的位置，使谐振器5产生静电力，其方向与在谐振器4和5之间以及在谐振器5和电极6之间作用的吸引力的方向均不同。 Resonators 4 and 5 are able to oscillate horizontally and vertically to substrate 1 . Resonat...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	NAKANISHI YOSHITO,SHIMIZU YOSHITO,YABUKI HIROYUKI
Format:	Patent
Sprache:	chi ; eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SWITCHES ELECTRICITY EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS RELAYS RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE SELECTORS TRANSPORTING WAVEGUIDES
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