Temperature-controlled chuck and method for controlling temperature of substantially flat object

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	K.E. MAUTZ, A.B. CHARLES, J.G. MALTABES
Format:	Patent
Sprache:	chi ; eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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