Temperature-controlled chuck and method for controlling temperature of substantially flat object

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	J.G. MALTABES,A.B. CHARLES,K.E. MAUTZ
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!