Deflection equipment with galvanometer and used in technical field of scanners

The present invention provides a deflection device (100, 200, 300, 400) for a scanner. The deflection apparatus (100, 200, 300, 400) comprises a substrate (102, 202), a galvanometer (106, 206, 304, 404), and an actuator device (110). The galvanometer (106, 206, 304, 404) is arranged in the groove (1...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	HOFMANN ULRICH, CAO YONG, MALOWSKA STEPHEN, ALBERS JOERG, SENGER FRANK, JANIK CHRISTIAN, WEIL GUNNAR, VON WANTOK THOMAS
Format:	Patent
Sprache:	chi ; eng
Schlagworte:	MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS TRANSPORTING
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