Inner support clamp for disassembling thermal field thermal insulation cylinder of single crystal furnace

The invention discloses an inner support clamp for disassembling a thermal field thermal insulation cylinder of a single crystal furnace, relates to the technical field of monocrystalline silicon manufacturing, and can solve a series of problems of manually disassembling the thermal insulation cylin...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: LI FEIJIAN, YANG YU, LU JIANHUA, HONG HUA, GUAN SHUJUN, ZENG HONGQIANG
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
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