Flange air curtain system and vacuum equipment

The invention provides a flange air curtain system and vacuum equipment. The flange air curtain system comprises a high-pressure air source, a pressure regulating valve set, an air conveying pipeline, an air curtain flange, a back air flange and a sealing piece. The high-pressure air source is conne...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: WANG FEI, SUN SONGGANG, LI CANLUN, LI ZHUOHUI, LIU HAIJING, WANG GUOFANG, LI SHAOJIE
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
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